超低温薄膜压力传感器的研制

本文对薄膜压力传感器的原理、结构、工艺等进行了分析，并介绍了应用离子溅镀、激光调阻等技术研制成的一种小型超低温薄膜压力传感器。这种传感器测量范围宽、精度高、抗振动和抗腐蚀性强，能在-200℃～100℃温度范围内稳定可靠工作。